STE35R UHV 集群工具

STE35R UHV 集群工具

应用领域:电子信息

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国家/地区

俄罗斯

行业领域

电子信息

简介

STE35R技术平台专为半导体异质结构的批量生产而设计,允许通过机器人 UHV 集群工具组合多个生长室。 STE35R适用于 A3B5、A2B6、A3N 化合物以及 A3B5/A2B6 混合纳米异质结构的外延生长。

匹配结果

400 000 2950

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