STE MS150 金属和电介质薄膜溅射多功能研发系统

STE MS150 金属和电介质薄膜溅射多功能研发系统

应用领域:电子信息

我有意向
国家/地区

俄罗斯

行业领域

电子信息

简介

STE MS150系统的灵活配置允许使用各种源及其组合,并为金属和电介质薄膜的磁控溅射和电阻热蒸发提供广泛的功能。  主要优势:1.灵活配置;2.由于使用柔性支架上的源而产生共焦溅射;3.垂直于晶圆批量加工转盘旋转平面的磁控管源设置。

匹配结果

400 000 2950

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