中方将成立中国—上海合作组织能源、绿色产业、数字经济三大合作平台,以及科技创新、高等教育、职业技术教育三大合作中心。
——2025年9月1日习近平在“上海合作组织+”会议上的讲话
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STE MS150系统的灵活配置允许使用各种源及其组合,并为金属和电介质薄膜的磁控溅射和电阻热蒸发提供广泛的功能。 主要优势:1.灵活配置;2.由于使用柔性支架上的源而产生共焦溅射;3.垂直于晶圆批量加工转盘旋转平面的磁控管源设置。