中方将成立中国—上海合作组织能源、绿色产业、数字经济三大合作平台,以及科技创新、高等教育、职业技术教育三大合作中心。
——2025年9月1日习近平在“上海合作组织+”会议上的讲话
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基于STE ICP200平台的STE RIE200系统,适用于使用氯和氟化学的RIE工艺。该平台实现了半导体、电介质和金属膜的受控RIE的所有现代功能。主要优势:1.蚀刻/沉积均匀度为晶圆的±2%;2.优化的供气系统;3.按配方进行工艺流程;4.安装“穿过墙壁”;5.自动晶片装载;6.盒式晶片装载能力