中方将成立中国—上海合作组织能源、绿色产业、数字经济三大合作平台,以及科技创新、高等教育、职业技术教育三大合作中心。
——2025年9月1日习近平在“上海合作组织+”会议上的讲话
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STEICP200D系统基于STEICP200平台,旨在进行密集型研发和批量生产。该平台实现了电感耦合等离子体中电介质(SiNx,SiO2等)。具有优化气体分配系统的现代化小体积反应器显著提高了晶片处理的均匀性和再现性,并减少了预泵送时间。易于访问所有系统组件,便于日常维护。