一、成果概述：

利用微纳米梁在表面粘附微尘时，其强迫振动的频率会与洁净时的固有频率不同，粘附的微尘越多，振动频率偏差越大，通过计数器记录，并根据偏差范围显示洁净等级，完成表面洁净程度的检测本项专利利用，其实质为质量传感器。

二、技术特点及技术指标：

本发明主要利用微纳米梁在粘附微尘前后的振动频率不同实现，可分辨质量很轻的微小灰尘，具有检测精度高，经久耐用的特点，不仅结构设计紧凑简单，且生产成本低，无需维护。

三、应用领域：

本成果主要应用于新一代检测微小质量的传感器，面向新一代传感器，信息与检测行业。本成果可以推广为检测洁净程度/微质量的质量传感器。

四、投入需求：

需投入的资金较少，对场地无特殊要求，设施的成本不高。总之，设备的产业化投入成本不高。