集成电路(CMOS)工艺兼容的硅基光热电薄膜系统集成

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应用领域:电子信息

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电子信息

简介

此次申报的项目就属于新型硅基光子器件及光电集成,在国内尚属空白,主要产品为硅基光电收发器,是硅基光互联技术的关键器件,已申请了两项美国专利,包括CMOS兼容的基于新型微谐振腔的正交幅度调制器和主动式光隔离器。这些器件充分利用成熟的CMOS技术在单一硅基片上制作新型集成光学微纳结构,实现亚微米量级的刻蚀技术,解决光子器件与CMOS工艺的兼容性,所制备的器件具有体积小,效率高,能耗低,成本低,易集成和易于批量生产等优势。初期产品主要用于光纤入户用光猫;长远来看,公司的高端产品将致力于光通信,光互连和大数据。

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