高性能CMOS-MEMS制造技术

高性能CMOS-MEMS制造技术

应用领域:先进制造与自动化

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行业领域

先进制造与自动化

简介

使用标准CMOS工艺设计低成本和高性能MEMS传感器的新技术已获得专利。这使得几乎任何微处理器和集成电路都能够意识到其物理操作环境,因为它以最小的附加成本提供了多种感官信息。寻求合作伙伴进一步开发该系统和/或建立商业协议以及技术合作。

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