绝缘体上复合压电(POI)晶片上微器件的制备

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应用领域:先进制造与自动化

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行业领域

先进制造与自动化

简介

frec|n| sys现在是SOITEC集团的一部分,因此提出了基于硅上键合的单晶取向钽酸锂的压电绝缘体上晶片的技术开发

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