离子注入气体输送系统

离子注入气体输送系统

应用领域:先进制造与自动化

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行业领域

先进制造与自动化

简介

适用于输送此类物质的亚大气气体输送技术的实例可以是将离子注入气体吸附到固体上或使用固体前体源作为源气体。该产品包括现场电化学生产砷化氢和利用离子液体作为络合剂输送磷化氢和11BF3分子。

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