基于CT扫描图像的MEMS结构重构与检测方法

基于CT扫描图像的MEMS结构重构与检测方法

应用领域:先进制造与自动化

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国家/地区

中国

行业领域

先进制造与自动化

简介

成果简介(技术分析和应用前景分析):本成果提出了一种基于CT扫描图像的MEMS结构的三维重构与检测方法,以解决现有检测手段检测环境要求高、不能反应其三维形貌的问题,同时保证了MEMS的无损检测。本方法首先采用工业CT技术扫描得到MEMS器件的系列图像,然后进行图像处理并得到其体数据,根据体数据进行表面模型重建,得到MEMS器件的表面三角网格模型。然后对表面模型进行修复,识别并提取其特征信息将器件模型的不同特征划分为不同的特征块,最后对划分好的特征块进行拟合,提取特征参数并导出数据接口文件。通过以上技术手段,实现了MEMS结构的三维尺度结构的准确检测。

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