中方将成立中国—上海合作组织能源、绿色产业、数字经济三大合作平台,以及科技创新、高等教育、职业技术教育三大合作中心。
——2025年9月1日习近平在“上海合作组织+”会议上的讲话
应用领域:电子信息
中国
电子信息
成果(技术)简介:综合利用磁控溅射、电子束溅射以及紫外曝光、离子束刻蚀、反应离子束刻蚀、聚焦离子束刻蚀等先进的微加工技术制作各种传感器、MENS器件、纳米材料等,不仅具有新产品开发、研制能力,同时具有中试和小批量生产能力。 主要技术特点(指标):可以实现多层金属、绝缘体以及氧化物的纳米和亚微米量级的薄膜制备,紫外曝光最小线宽可达2-3微米,多层对准的套刻技术。 应用领域及效益分析:传感器技术和MENS器件以及纳米材料等。