一种适合于光刻机复位用的对准方法及装置

一种适合于光刻机复位用的对准方法及装置

应用领域:高技术服务

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国家/地区

中国

行业领域

高技术服务

简介

本发明公开了一种适合于光刻机复位用的对准装置及方法,可以实现快速高精度复位对准,可以达到高精度对准,甚至超越前者的对准方案,制作简单且价格低廉。

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400 000 2950

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