臭氧催化氧化在温和条件了实现了苯等难降解VOCs污染物的深度高效氧化分解，过程简单，无需高温、高压等苛刻条件；臭氧催化分解产生的强氧化羟基自由基能将VOCs氧化生成CO2，苯去除率达到100%、矿化率在90%，且无残余臭氧，有效避免了二次污染，且反应过程催化剂无消耗，可重复使用。针对高湿度条件下低温臭氧催化氧化VOCs技术存在的催化剂中毒、稳定性差的关键科学和技术问题，在揭示催化剂失活机制的基础上，提出针对反应特征的载体与催化剂活性组分的构筑与设计，获取高效、稳定的催化剂，制备的催化剂使用过程未观察到催化失活现象，催化剂使用寿命得到极大提升。同时，该技术可为光解、等离子体、静电除尘等产生臭氧的技术提供有效利用和消除臭氧的手段。