浓度臭氧标准气体发生与测量装置是将纯氧通入仪器，在钨电极臭氧陶瓷片的电极辉光放电下，使氧气转化为臭氧。装置给电极提供一个稳定的电压，通过电极放电后产生具有稳定浓度的臭氧，然后将产生的臭氧气体分为两路，一路通入被校的臭氧分析仪，用于校准臭氧分析仪；一路通入高精度的臭氧分析仪测量臭氧浓度，将测量所得的臭氧气体浓度值反馈至装置的控制单元，控制单元实时检测臭氧浓度，采用动态调控的方式，通过装置中的气体动态稀释系统将高浓度的臭氧气体稀释，再由高精度臭氧分析仪实时检测，并与设定值相比较，实现闭环控制，使臭氧的输出浓度与设定的浓度值一致。该装置的技术性能指标为：标准气体输出范围：10×10-6～400×10-6；输出气体流量： 2 L ；重复性：＜0.7%；响应时间：3 min ；使用环境：18～25℃，常压。