一种 n 型磷掺杂金刚石薄膜中去除氢杂质的仿真方法

一种 n 型磷掺杂金刚石薄膜中去除氢杂质的仿真方法

应用领域:资源与环境

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国家/地区

中国

行业领域

资源与环境

简介

本发明公开了一种 n 型磷掺杂金刚石薄膜中去除氢杂质的仿真方法,根据含时密度泛函与分子动力学理论,对 n 型磷掺杂金刚石薄膜模型进行第一性原理与分子动力学计算,模拟出激光场、温度场下模型中的价电子的光子吸收、价电子跃迁、化学键断裂,在此基础上,进一步提出了去除 n 型磷掺杂金刚石薄膜中的氢元素杂质的方法。

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