面向新型标准光组件的自动化工艺生产线开发应用

面向新型标准光组件的自动化工艺生产线开发应用

应用领域:电子信息

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国家/地区

中国

行业领域

电子信息

简介

1)首次提出一种对ZnO基氧化物材料的具有高度可控性的蚀刻液和配套蚀刻工艺,该方法可广泛的用于制备精细电子部件中氧化物材料的刻蚀;2)首次开发了基于新型蚀刻材料和工艺的自动化刻蚀设备;3)结合氧化物材料的MOCVD生长设备设计和新型微加工蚀刻工艺的开发成果,研发国际首条适用于ZnO基透明氧化物材料,从材料生长到器件制备的完整的芯片自动化生产线;4)开发的自动化生产线极大的简化了工序和人为干预,并为探索和实践LED芯片制造发展到无人值守全自动化整线最终阶段奠定基础。

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