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产业动态

编码:CHK023.CZ 上市公司

集保能源投资(城市生活垃圾焚烧发电、城市清扫保洁服务)、建材制造业、房地产等多元业务并行的综合性企业集团。

2002 成立时间
825M USD 资产规模
121 专利项(数)

STE PECVD200等离子体增强化学气相沉积系统

STE PECVD200设计用于在高达200mm的晶片上以电容放电的方式对电介质(SiNx、SiO2等)进行等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。该系统设计允许将射频电位切换到盘式淋浴器和工作台。主要优势:1.蚀刻/沉积均匀度为晶圆的±2%;2.优化的供气系统;3.按配方进行工艺流程;4.安装“穿过墙壁”;5.自动晶片装载;6.盒式晶片装载能力

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