多功能 PVD平台

多功能 PVD平台STE D700为各种晶圆上的薄膜沉积提供了广泛的解决方案。平台可配备不同的源，包括电子束、磁控管或电阻热蒸发器及其组合。平台设计针对保护屏频繁更换的需要进行了优化，并可以轻松访问厚度监测器的石英晶体谐振器。

用于批量晶圆处理的 STE MS900 磁控溅射系统

磁控溅射和电阻热蒸发系统STE MS900适用于研发和试生产，并确保获得极其广泛的多层涂层（金属、电介质、电阻合金、ITO 薄膜等）。优化的STE MS900 HV 蒸发室包括一个固定源块和一个升降顶盖。符合人体工程学的设计，配备有升降机构，方便维护蒸发器和用于收集溅射材料的屏幕系统。主要优势：1.通过 180° 晶圆支架翻转实现双面溅射；2.采用锁室配置的“穿墙式”安装。

STE MS150 金属和电介质薄膜溅射多功能研发系统

STE MS150系统的灵活配置允许使用各种源及其组合，并为金属和电介质薄膜的磁控溅射和电阻热蒸发提供广泛的功能。  主要优势：1.灵活配置；2.由于使用柔性支架上的源而产生共焦溅射；3.垂直于晶圆批量加工转盘旋转平面的磁控管源设置。

用于批量晶圆处理的 STE EB65 电子束蒸发系统

STE EB65系统用于 在高真空条件下获取金属、电介质和半导体材料薄膜，一次性批量装载最大 3×Ø200mm 的晶圆。STE EB65系统的特殊之处在于蒸发室，它由真空闸阀隔开，用于快速抽空主容积并在晶圆装载后启动工艺过程。主要优势：1.蒸发室体积密封隔离；2.由于采用特殊的“掩模”技术，厚度均匀性得到改善。

STE EB71 自动化超高真空电子束蒸发系统

STE EB71系统适用于高真空和超高真空环境下的电子束薄膜蒸发。系统设计允许通过调节蒸发器与晶圆之间的距离来优化材料消耗。特殊的“掩模”技术可确保蒸发材料的高均匀性。主要优势：1.超高真空下的高质量薄膜沉积；2.通过调节蒸发到晶圆的距离来优化材料消耗；3.由于采用特殊的“掩模”技术，厚度均匀性得到改善。

STE35R UHV 集群工具

STE35R技术平台专为半导体异质结构的批量生产而设计，允许通过机器人 UHV 集群工具组合多个生长室。 STE35R适用于 A3B5、A2B6、A3N 化合物以及 A3B5/A2B6 混合纳米异质结构的外延生长。

STE35 先进的 MBE 平台，适用于 A3B5 | A2B6 | A3N 复合半导体生长

现代化的半自动化技术平台，用于在最大 Ø150mm 的基板上精确生长 A3B5、A2B6 或 A3N 化合物。 该平台专为外延异质结构的研发和试生产而设计。STE35配置灵活，可配备各种带有 10 或 12 个分子源端口的生长室。最佳生长几何结构可实现优异的厚度和成分均匀性。

低噪音BLDC内转子电机

产品采用多模态的瞬态电磁计算，利用FFT的频谱分析作为优化条件，从而分解出造成力矩波动的核心参数，并对此进行优化设计，针对性地降低不同频率下的振动幅值，从而有效地减小噪音。可根据客户需求，提供恒功率、恒分压、恒风量等控制策略。

磷酸氢二铵

磷酸二铵是含氮、磷两种营养成分的复合肥，作为一种高浓度的速效肥料，溶解后固形物较少，适用于多种作物和土壤，水溶性磷高达95%以上，易于被植物吸收。在农业化肥方面的需求量较多，农业生产提供了行业运行的坚强保障。

磷酸二铵的主要原料是磷矿石，具有储量大、品味高、活性好、重金属含量低的特点.

养分高，增产效果显著，全国各地土肥及农技中心的试验证明：与进口二铵相比，有更高的投入产出比。

含有微量元素，能有效促进作物光合作用，加快农作物返青。

多功能履带旋耕机

可根据实际需要，配置旋耕、开沟、回填、施肥、打药、秸秆还田等功能